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仕様・特性

ハードコート


マスク種類 クロムガラスマスク エマルジョンガラスマスク フィルムマスク
描画精度 mode A mode B mode C mode D mode A mode B mode A
最大感材サイズ
(inch)
10×10 12×12 28×32 28×32 28×32 28×32 28×32
最小LS(um) 1
1μm未満
は要相談
1
1μm未満
は要相談
4 6 10 20 30
線幅精度(um) ±0.1 ±0.2 ±0.5 ±1.0 ±1.0 ±2.0 ±4.0
線幅精度(3σum) 0.06 0.06 0.12
重ね合わせ精度(3σum) 0.03 0.2 0.4
基板材質 合成石英 合成石英
青板
青板 青板 青板 青板 PET
対応可能な
表面処理
ペリクル ペリクル
ハードコート
ハードコート ハードコート ハードコート ハードコート ラミネート
価格性
微細性
耐久性 ◯*1 ◯*1

*1 ハードコート処理により耐久性の向上を可能にします。

  • フォトマスクサイズに関しては、各種取り揃えております。
  • クロムマスクは、単層・2層クロム・3層クロム、その他各種取り揃えております。
  • 貴社マスク仕様に合わせてご提供させていただきます。
    (ガラスカットによる特殊サイズにも対応)
    お気軽にご相談ください。
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ガラス材質特性


  ガラス材料と特性 ソーダ石灰 合成石英
組成 SiO2 72.5 100
Al2O3 2 -
B2O3 - -
RO 12 -
R2O 13.5 -
熱的性質 熱膨張係数(X10-7/℃) 81 6
転移点(℃) 562 -
軟化点(℃) 740 1600
除冷点(℃) 554 1120
歪点(℃)  511

 1000

熱伝導率(cal/cm・sec・℃) 2.4X10-3 3.3X10-3
比熱(cal/g・℃)at70℃ 0.22 0.19
耐熱衝撃性(4℃) 85 1000以上
光学的性質 透過率(%)    
 at400nm(2.3t) 90 92
 at500nm(2.3t) 90.5 92.5
屈折率(%) 1.52 1.46
化学的性質 耐水性(mg/cm2) 0.016 0.001
耐酸性(mg/cm2) 0.002 0.000
耐アルカリ性(mg/cm2) 0.042 0.032
接触角(度) 6.7 -
機械的性質 比重 2.49 2.20
ヤング率(kg/mm2) 7.300 7.340
剛性率(kg/mm2) 3.020 3.160
ポアソン比 0.21 0.16
ヌープ硬度(kg/mm2) 540 650
曲強度(kg/mm 2:100x20X3mm) 670 740
電気的性質 体積抵抗率Log10(Ω・cm)    
 at150℃ 8.8 -
 at200℃ 7.7 12.5
 at300℃ 5.9 10.5
誘電率 at1MHz・R・T 7.5 4.0

ペリクル特性


光線透過率 反射防止コーティングにより、多角安定した光線透過率が得られます。
強度 エアブローによる異物除去も安心して行えます。
対応サイズ 各種サイズ対応いたします。(350mm×350mmまで対応可能です。)
お気軽にご相談ください。
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マスク洗浄


  クロムマスク エマルジョンマスク
洗浄方法 SPM、APM洗浄
メガソニック洗浄
スクラブ洗浄
対応可能サイズ 5~25in(t=3~5mm) 5~32in(t=3~5mm)

※各洗浄方法においても、超純水を使用した洗浄としております。

  • 貴社にて、一度ご利用になったマスクの汚れなどによる問題がございましたら、洗浄のみの作業も可能です。ご相談ください。
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ガラス加工


仕様 範囲(X,Y,Z) 1050mm×550mm×550mm
精度 500mmに対し公差±0.05mm
分解能 0.001mm

加工実績
(板5.00mm)
穴あけ φ0.5mm~
ポケット φ1.0mm~
ミゾ切り 1.0mm~

  • ザグリ・溝加工を含め各種形状についてはご相談ください。
  • ネジ加工致します。部品の取り付け・組み立てなどの用途にご利用いただけます。
  • 加工素材(青板・石英・耐熱ガラス・他)についてはご相談承ります。

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