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フォトマスク

ハードコート

当社のハードコートは、抜群の離型性を持ち、露光時におけるレジスト等の付着を大幅に軽減するとともに、ウェット環境でのマスククリーニングが可能となります。


未処理

ハードコート処理済み

メリット

    膜面(エマルジョン・クロム)の保護
  • 優れた防汚性
  • 取り扱い(清掃)の簡易性
  • ファインパターン解像性向上(エマルジョン)


ハードコート仕様

項目 仕様 備考
使用樹脂 シリコーン系樹脂 当社オリジナル
膜厚 2~3μm(面内分布±0.5μm) 表面粗さ計
膜硬度 鉛筆硬度3H以上 JIS-K5400 鉛筆硬度試験
光線透過率 365nmの波長において94%以上
(ガラス基材との相対比較)
分光光度計
UV照射耐性 7200J/cm2までの照射で透過率低下なし UV暴露試験
密着性 碁盤目剥離100/100 セロハンテープ剥離
耐水性 塗膜変化なし 純水浸漬5分
耐溶剤性 エタノール・IPA>100回(擦り)
MEK・アセトン>100回(擦り)
加重1㎏/cm2ラビングテスト
耐薬品性 耐アルカリ:5%NaOH水溶液、耐酸:5%HCL水溶液
共に変化なし
スポットテスト1時間
離型性 1.1N/㎝(剥離速度300㎜/min) セロハンテープ180°剥離
対応サイズ 4×4~28×32(単位:inch)  
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