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フォトマスク

ハードコート

当社のハードコートは、抜群の離型性を持ち、露光時におけるレジスト等の付着を大幅に軽減するとともに、ウェット環境でのマスククリーニングが可能となります。


未処理

ハードコート処理済み

メリット

    膜面(エマルジョン・クロム)の保護
  • 優れた防汚性
  • 取り扱い(清掃)の簡易性
  • ファインパターン解像性向上(エマルジョン)


ハードコート仕様

項目 通常ハードコート 薄膜ハードコート 備考
使用樹脂 シリコーン系樹脂 フッ素系樹脂 当社オリジナル
膜厚 2~3μm
(面内分布±0.5μm)*1
10nm *1:表面粗さ計
膜硬度 鉛筆硬度3H以上 鉛筆硬度4H以上 JIS K 5600-5-4 鉛筆硬度試験
光線透過率 365nmの波長において94%以上 365nmの波長において95%以上 分光光度計による測定
UV照射耐性 7200J/cm2で透過率
低下なし
15000J/cm2で透過率
低下なし
UV暴露試験(365nm波長)
密着度 碁盤目剥離試験100/100(1mm幅)剥がれなし セロハンテープ剥離試験
耐水性 純水浸漬試験 塗膜変化なし 純水浸漬60分
耐溶剤性 エタノール・IPA・MEK・アセトン
塗膜変化なし
溶剤浸漬60分
耐薬品性 耐アルカリ:5%NaOH水溶液、耐酸:5%HCL水溶液
塗膜変化なし
薬品浸漬60分
撥水性 接触角90°以上 接触角100°以上 接触角計による測定
離型性 1.1N/㎝
(剥離速度300㎜/min)
セロハンテープ180°剥離
対応サイズ 4×4~28×32(単位:inch)

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