製品情報

フォトマスク

ハードコート

当社のハードコートは、抜群の離型性を持ち、露光時におけるレジスト等の付着を大幅に軽減するとともに、ウェット環境でのマスククリーニングが可能となります。

ハードコートメリット
膜面（エマルジョン・クロム）の保護
  • 優れた防汚性
  • 取り扱い（清掃）の簡易性
  • ファインパターン解像性向上（エマルジョン）
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    ハードコート仕様

    項目 通常ハードコート 薄膜ハードコート 備考
    使用樹脂 シリコーン系樹脂 フッ素系樹脂 当社オリジナル
    膜厚 2～3μｍ
    (面内分布±0.5μｍ）*1    		 10nm *1:表面粗さ計
    膜硬度 鉛筆硬度３Ｈ以上 鉛筆硬度４Ｈ以上 JIS K 5600-5-4 鉛筆硬度試験
    光線透過率 365nmの波長において94％以上 365nmの波長において95％以上 分光光度計による測定
    ＵＶ照射耐性 7200J/cm2で透過率
    低下なし    		 15000J/cm2で透過率
    低下なし    		 UV暴露試験(365nm波長)
    密着度 碁盤目剥離試験100/100(1mm幅)剥がれなし セロハンテープ剥離試験
    耐水性 純水浸漬試験 塗膜変化なし 純水浸漬60分
    耐溶剤性 エタノール・IPA・MEK・アセトン
    塗膜変化なし    		 溶剤浸漬60分
    耐薬品性 耐アルカリ：5％NaOH水溶液、耐酸：5％HCL水溶液
    塗膜変化なし    		 薬品浸漬60分
    撥水性 接触角90°以上 接触角100°以上 接触角計による測定
    離型性 1.1N/㎝
    (剥離速度300㎜/min）    		 － セロハンテープ180°剥離
    対応サイズ 4×4～28×32（単位：inch） －